Author:
Smertin R. M.,Zuev S. Yu.,Polkovnikov V. N.,Chkhalo N. I.
Reference18 articles.
1. A. E. Yakshin, R. W. E. van de Kruijs, I. Nedelcu, E. Zoethout, E. Louis, F. Bijkerk, H. Enkisch, and S. Müllender, Proc. SPIE 6517, 158 (2007).
https://doi.org./10.1117/12.711796
2. N. I. Chkhalo, S. A. Gusev, A. N. Nechay, D. E. Pariev, V. N. Polkovnikov, N. N. Salashchenko, F. Schäfers, M. G. Sertsu, A. Sokolov, M. V. Svechnikov, and D. A. Tatarsky, Opt. Lett. 42, 5070 (2017).
https://doi.org./10.1364/OL.42.005070
3. N. Chkhalo, V. Polkovnikov, N. Salashchenko, M. Toropov, J. Vac. Sci. Technol., B 35, 062002 (2017). https://doi.org./10.1116/1.4995369
4. J. A. Thornton and D. W. Hoffman, J. Vac. Sci. Technol., A 14, 164 (1977).
https://doi.org./10.1116/1.569113
5. J. A. Thornton and D. W. Hoffman, J. Vac. Sci. Technol., A 20, 355 (1982).
https://doi.org./10.1116/1.571463