1. Yu. G. Poltavtsev and A. S. Knyazev, Technology of Surface Treatment in Microelectronics (Tekhnika, Kiev, 1990).
2. N. Rochat, M. Olivier, A. Chabli, F. Conne, G. Lefeuvre, and C. Boll-Burdet, Appl. Phys. Lett. 77, 2249 (2000).
3. N. L. Kazanskii, V. A. Kolpakov, A. I. Kolpakov, S. V. Krichevskii, and N. A. Ivliev, Komp’yut. Opt., No. 31, 42 (2007).
4. X. Zhang and J. Chae, Sens. Actuators A 171, 414 (2011).
5. P. Yu. Izotov, M. S. Glyan’ko, and S. V. Sukhanov, Komp’yut. Opt. 35, 63 (2011).