Electronic structure of the Si-C-N amorphous films
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Publisher
Pleiades Publishing Ltd
Subject
Condensed Matter Physics,Electronic, Optical and Magnetic Materials
Link
http://link.springer.com/content/pdf/10.1134/S1063783411090356.pdf
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1. Long-term stable water vapor permeation barrier properties of SiN/SiCN/SiN nanolaminated multilayers grown by plasma-enhanced chemical vapor deposition at extremely low pressures;Applied Physics Letters;2014-08-04
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