Neuere Entwicklungen von Normalen für die 3D-Mikro- und Nanometrologie-Reference-Cited by-同舟云学术

Neuere Entwicklungen von Normalen für die 3D-Mikro- und Nanometrologie

Published:2011-02-22 Issue:3 Volume:78 Page:118-126
ISSN:0171-8096
Container-title:tm - Technisches Messen
language:en
Short-container-title:

Author:

Neuschaefer-Rube Ulrich¹,Neugebauer Michael²,Dziomba Thorsten¹,Danzebrink Hans-Ulrich¹,Koenders Ludger¹,Bosse Harald

Affiliation:

1. Physikalisch-Technische Bundesanstalt, Abteilung Fertigungsmesstechnik, Braunschweig

2. Physikalisch-Technischen Bundesanstalt (PTB), Abteilung Fertigungsmesstechnik, Braunschweig, Deutschland

Abstract

Zusammenfassung Der Beitrag gibt einen Überblick über neuere Entwicklungen von Normalen und Messverfahren für die 3D-Mikro- und Nanometrologie mit Fokus auf Arbeiten der PTB. Ziel der Entwicklungen ist die Verringerung der Messunsicherheiten von Messgeräten zur dimensionellen Charakterisierung von Mikro- und Nanostrukturen.

Publisher

Walter de Gruyter GmbH

Subject

Electrical and Electronic Engineering,Instrumentation

Link

https://www.degruyter.com/document/doi/10.1524/teme.2011.0129/pdf

Reference16 articles.

1. Micromechanical three-axial tactile force sensor for micromaterial characterisation

2. A landmark-based 3D calibration strategy for SPM

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