Dimensionelle Nanometrologie in der PTB – eine Übersicht (Dimensional Nanometrology at PTB – a Survey)

Abstract

Abstract Die Nanotechnologie umfasst Applikationen, die im Wesentlichen auf physikalischen Phänomenen basieren, welche im Bereich von Dimensionen unterhalb 100 nm wirksam sind. Entsprechend betreffen die Messaufgaben, die in der Nanotechnologie durchzuführen sind, die Geometrie sowie andere physikalische und chemische Eigenschaften. Im Vergleich zum makroskopischen Bereich müssen hier Messungen eher holistisch gesehen werden: Die Dimensionen der Strukturen spielen immer eine wesentliche Rolle – auch wenn physikalische oder chemische Eigenschaften bestimmt werden sollen. Dieser Beitrag konzentriert sich auf den dimensionellen Aspekt. Metrologieinstitute arbeiten weltweit auf dem Gebiet der dimensionellen Nanometrologie. Dieser Beitrag stellt neuere Arbeiten der PTB auf diesem Gebiet vor. Er konzentriert sich dabei auf hoch auflösende Messgeräte mit großem Messbereich, auf das Modellieren von Sensor-Oberfläche-Wechselwirkungen, Geräte mit kombinierten Sensoren und geht auf neue Entwicklungen von Normalen ein.