Affiliation:
1. Leibniz Universität Hannover, Hannover
Abstract
Zusammenfassung
Die Vermessung von mikro-strukturierten technischen Oberflächen ist eine aktuelle Kernfragestellung der Messtechnik. In diesem Beitrag werden 3D-Rekonstruktionsverfahren von rasterelektronenmikroskopischen Aufnahmen, insbesondere die photometrische Methode, vorgestellt. Zur Verifikation des entwickelten Modells wurde ein Rasterelektronenmikroskop mit zwei Detektoren versehen.
Subject
Electrical and Electronic Engineering,Instrumentation