Neue Anwendungen der Nanomessmaschine (NPM-Maschine) durch die Entwicklung nanoskaliger optischer und taktiler Tastsensoren (New Applications of the Nanomeasuring Machine (NPM-Machine) by Novel Optical and Tactile Probes with Subnanometer Repeatability)-Reference-Cited by-同舟云学术

Neue Anwendungen der Nanomessmaschine (NPM-Maschine) durch die Entwicklung nanoskaliger optischer und taktiler Tastsensoren (New Applications of the Nanomeasuring Machine (NPM-Machine) by Novel Optical and Tactile Probes with Subnanometer Repeatability)

Published:2006-09 Issue:9 Volume:73 Page:457-464
ISSN:0171-8096
Container-title:tm - Technisches Messen
language:en
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Author:

Jäger Gerd,Manske Eberhard,Hausotte Tino

Abstract

Der vorliegende Beitrag beschreibt neue Anwendungen der Nanomessmaschine des Institutes für Prozessmess- und Sensortechnik der TU Ilmenau. Die neuen Anwendungen in der Mikro- und Nanotechnik resultieren aus der Entwicklung von nanoskaligen Tastsensoren, die in der Nanomessmaschine nur als Nullindikatoren eingesetzt werden. Entwickelt und erprobt wurden: Fokussensor mit 10 mm Arbeitsabstand, Weißlichtinterferenzsensor, taktiler Tastschnittsensor und Rastersondenmikroskop mit Fokussensor. Gegenwärtig wird ein taktiler 3D-Taster der Fa. IBS Precision Engineering in die Nanomessmaschine eingebunden.

Publisher

Walter de Gruyter GmbH

Subject

Electrical and Electronic Engineering,Instrumentation

Link

https://www.degruyter.com/document/doi/10.1524/teme.2006.73.9.457/pdf

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