Analytical performance of μ-groove silicon attenuated total reflection waveguides

Author:

Haas Julian1234ORCID,Müller Anja5674,Sykora Lorenz5674,Mizaikoff Boris1234ORCID

Affiliation:

1. Insitute of Analytical and Bioanalytical Chemistry

2. Ulm University

3. 89081 Ulm

4. Germany

5. Walter Schottky Institute

6. Technical University Munich

7. Munich

Abstract

The analytical performance of micromachined μ-groove silicon attenuated total reflection (ATR) elements has been evaluated in a comparison of Fourier-transform infrared (FTIR) and quantum cascade laser (QCL) spectroscopy operating at mid-infrared (MIR) wavelengths.

Funder

European Commission

Bayerisches Staatsministerium für Wirtschaft und Medien, Energie und Technologie

Publisher

Royal Society of Chemistry (RSC)

Subject

Electrochemistry,Spectroscopy,Environmental Chemistry,Biochemistry,Analytical Chemistry

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