New amidinate complexes of indium(iii): promising CVD precursors for transparent and conductive In2O3 thin films

Author:

Gebhard M.1234ORCID,Hellwig M.1234,Kroll A.1234,Rogalla D.5234ORCID,Winter M.1234,Mallick B.1234,Ludwig A.6234,Wiesing M.7894,Wieck A. D.6234ORCID,Grundmeier G.7894,Devi A.1234ORCID

Affiliation:

1. Inorganic Materials Chemistry

2. Ruhr-University Bochum

3. 44801 Bochum

4. Germany

5. RUBION

6. Solid State Physics

7. Macromolecular and Technical Chemistry

8. University of Paderborn

9. 33098 Paderborn

Abstract

Heteroleptic and homoleptic In(iii)-amidinate complexes as promising CVD precursors for In2O3 thin films.

Publisher

Royal Society of Chemistry (RSC)

Subject

Inorganic Chemistry

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