10.4139/sfj.55.29

Author:

TANIMOTO Satoshi

Publisher

The Surface Finishing Society of Japan

Subject

General Engineering

Reference13 articles.

1. 1) 只野 博, 金子洋之, 野中賢一;平成15年電気学会産業応用部門大会(8月, 東京工科大学)講演論文集 講3-S8-5, p. III-15 (2003)

2. 2) 松波弘之編著;半導体SiC技術と応用, 6-5節, 7-1節 (日刊工業新聞社, 2003)

3. 3) 荒井和雄, 吉田貞史編著;SiC素子の基礎と応用, 3-4節, 6-1節 (オーム社, 2003)

4. A critical review of ohmic and rectifying contacts for silicon carbide

5. The Physics of Ohmic Contacts to SiC

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