10.4139/sfj.60.232

Author:

TSUKAMOTO Takehito

Publisher

The Surface Finishing Society of Japan

Subject

General Engineering

Reference30 articles.

1. 1) 山本佳紀,佐々木元,山川勝弘,太田 真;日立電線, 19, (1), 85(2000).

2. 2) 平井崇夫,栗原正明,江口立彦,吉村考史;古河電工時報, 107, 63(2001).

3. Theory of wet etcting and its technical trend.

4.  佐藤敏一;金属エッチング技術(槙書店, 1973)./

5.  楢岡清威,二瓶公志;フォトエッチングと微細加工(総合電子出版社, 1977)./

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