Revisiting Newton’s rings with a plasmonic optical flat for high-accuracy surface inspection

Author:

Zheng Yun,Bian Jie,Wang Xiao-Long,Liu Ju-Xiu,Feng Peng,Ge Hai-Xiong,Martin Olivier J F,Zhang Wei-Hua

Publisher

Springer Science and Business Media LLC

Subject

Atomic and Molecular Physics, and Optics,Electronic, Optical and Magnetic Materials

Reference46 articles.

1. Yoshizawa T . Handbook of Optical Metrology: Principles and Applications. 2nd edn. Boca Raton: CRC Press; 2015.

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