Thermoelastic and Optical Properties of Thick Boride Templates on Silicon for Nitride Integration Applications

Author:

Roucka R.1,D’Costa V. R.1,An Y.-J.1,Canonico M.1,Kouvetakis J.1,Menéndez J.1,Chizmeshya A. V. G.1

Affiliation:

1. Department of Chemistry and Biochemistry, Arizona State University, Tempe, Arizona 85287; Department of Physics, Arizona State University, Tempe, Arizona 85287; and Freescale Semiconductor, Tempe, Arizona 85284

Publisher

American Chemical Society (ACS)

Subject

Materials Chemistry,General Chemical Engineering,General Chemistry

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