1. FG Nanotechnologie, Institut für Mikro- und Nanoelektronik and Institut für Mikro- und Nanotechnologien MacroNano, Technische Universität Ilmenau, Postfach 100565, 98684 Ilmenau, Germany
2. FG Werkstoffe der Elektrotechnik, Institut für Werkstofftechnik, Technische Universität Ilmenau, Postfach 100565, 98684 Ilmenau, Germany
3. FG Technische Physik I, Institut für Physik, Technische Universität Ilmenau, Postfach 100565, 98684 Ilmenau, Germany
4. FG Fertigungs- und Präzisionsmesstechnik, Institut für Prozessmess- und Sensortechnik, Technische Universität, PF 100565, 98684 Ilmenau, Germany