1. Physikalisch-Technische Bundesanstalt, Bundesallee 100, 38116 Braunschweig, Germany
2. Institut für Festkörperphysik, Leibniz Universität Hannover, Appelstraße 2, 30167 Hannover, Germany
3. Institut für Physik, Technische Universität Chemnitz, Reichenhainer Straße 70, 09126 Chemnitz, Germany
4. Institut für Halbleitertechnik, Technische Universität Braunschweig, Hans-Sommer Straße 66, 38106 Braunschweig, Germany
5. Laboratory of Emerging Nanometrology (LENA), Technische Universität Braunschweig, Langer Kamp 6a, 38106 Braunschweig, Germany