Etching and Chemical Control of the Silicon Nitride Surface

Author:

Brunet Marine12,Aureau Damien3,Chantraine Paul1,Guillemot François2,Etcheberry Arnaud3,Gouget-Laemmel Anne Chantal1ORCID,Ozanam François1

Affiliation:

1. Laboratoire de Physique de la Matière Condensée, Ecole Polytechnique, CNRS, Université Paris-Saclay, 91128 Palaiseau, France

2. Saint-Gobain Recherche, 39 quai Lucien Lefranc, 93303 Aubervilliers, France

3. Institut Lavoisier, UVSQ-CNRS UMR 8180, 78035 Versailles, France

Publisher

American Chemical Society (ACS)

Subject

General Materials Science

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