Low-Temperature Atomic Layer Deposition of Platinum Using (Methylcyclopentadienyl)trimethylplatinum and Ozone

Author:

Dendooven Jolien1,Ramachandran Ranjith K.1,Devloo-Casier Kilian1,Rampelberg Geert1,Filez Matthias2,Poelman Hilde2,Marin Guy B.2,Fonda Emiliano3,Detavernier Christophe1

Affiliation:

1. Department of Solid State Sciences, COCOON, Ghent University, Krijgslaan 281/S1, 9000 Ghent, Belgium,

2. Laboratory for Chemical Technology, Ghent University, Krijgslaan 281/S5, 9000 Ghent, Belgium,

3. Synchrotron SOLEIL, L′Orme des Merisiers, Saint-Aubin, BP48, 91192 Gif-sur-Yvette Cedex, France

Publisher

American Chemical Society (ACS)

Subject

Surfaces, Coatings and Films,Physical and Theoretical Chemistry,General Energy,Electronic, Optical and Magnetic Materials

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