1. Institute for Microsensors, Actuators and Systems, Universität Bremen, 28359 Bremen, Germany
2. Institute of Mechanics and Adaptronics, Technische Universität Braunschweig, 38106 Braunschweig, Germany
3. Institute of Microtechnology, Technische Universität Braunschweig, 38124 Braunschweig, Germany
4. Faserinstitut Bremen e.V (FIBRE), 28359 Bremen, Germany