Thermal Behavior of Biaxial Piezoelectric MEMS Scanner
Author:
Affiliation:
1. University Grenoble Alpes, CEA, Leti, F-38000 Grenoble, France
Publisher
MDPI
Link
https://www.mdpi.com/2504-3900/97/1/223/pdf
Reference2 articles.
1. Fabrication of Optical Micro scanner driven by PZT Actuators;Kobayashi;Jpn. J. Appl. Phys.,2005
2. Wang, D., Watkins, C., and Xie, H. (2020). MEMS mirrors for LIDAR: A review. Micromachines, 11.
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