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Manufacture and Characterization of High Q-Factor Inductors Based on CMOS-MEMS Techniques

  • Published:2011-10-19 Issue:10 Volume:11 Page:9798-9806
  • ISSN:1424-8220
  • Container-title:Sensors
  • language:en
  • Short-container-title:Sensors

Author:

Yang Ming-Zhi,Dai Ching-Liang,Hong Jin-Yu

Publisher

MDPI AG

Subject

Electrical and Electronic Engineering,Biochemistry,Instrumentation,Atomic and Molecular Physics, and Optics,Analytical Chemistry

Reference18 articles.

1. Fully integrated DC-DC converters;Ghahary;Power Electron. Technol,2004

2. Micromachined planar inductors on silicon wafers for MEMS applications;Ahn;IEEE Trans. Ind. Electron,1998

3. Electroplated solenoid-type inductors for CMOS RF VCO;Nam;Proc. SPIE,2000

4. CMOS-compatible micromachined edge-suspended spiral inductors with high Q-factors and self-resonance frequencies;Chen;IEEE Electron Device Lett,2004

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