1. Institute of Microtechnology, Technische Universität Braunschweig, 38124 Braunschweig, Germany
2. Université de Technologie de Compiègne, CNRS FRE 2012, Roberval (Mechanics Energy and Electricity), Centre de Recherche Royallieu, CS 60319, 60203 Compiègne Cedex, France