Rare-Earth Oxides as High-k Gate Dielectrics for Advanced Device Architectures
Author:
Publisher
Wiley-VCH Verlag GmbH & Co. KGaA
Reference130 articles.
1. Electrical properties of hafnium silicate gate dielectrics deposited directly on silicon;Wilk;Appl. Phys. Lett.,1999
2. High-kappa dielectric materials for microelectronics;Wallace;Crit. Rev. Solid State Mater. Sci.,2003
3. Carrier mobility in MOSFETs fabricated with Hf-Si-O-N gate dielectric, polysilicon gate electrode, and self-aligned source and drain;Rotondaro;IEEE Electron Device Lett.,2002
4. High-kappa gate dielectrics: current status and materials properties considerations;Wilk;J. Appl. Phys.,2001
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