IonScan 800 – Ultrapräzise Schichtdickenkorrektur für die Halbleitertechnologie-Reference-Cited by-同舟云学术

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IonScan 800 – Ultrapräzise Schichtdickenkorrektur für die Halbleitertechnologie

Published:2007-04 Issue:2 Volume:19 Page:15-20
ISSN:0947-076X
Container-title:Vakuum in Forschung und Praxis
language:de
Short-container-title:VIP

Author:

Zeuner Michael,Nestler Matthias,Roth Dietmar

Publisher

Wiley

Subject

Surfaces, Coatings and Films,Condensed Matter Physics

Reference7 articles.

1. R. Aigner: 2nd Int. Symp. Acoustic Wave Dev. Fut. Mob. Comm. Syst., Chiba (Japan) 2004

2. J.J. Cuomo, S.M. Rossnagel and H.R. Kaufman: Handbook of ion beam processing technology, Noyes Publ., Park Ridge (1989)

3. B. Wolf: Ion sources, CRC Press, Boca Raton (1995)

Cited by 1 articles. 订阅此论文施引文献订阅此论文施引文献，注册后可以免费订阅5篇论文的施引文献，订阅后可以查看论文全部施引文献

1. Ionenstrahlpolieren von feinoptischen Substraten;Vakuum in Forschung und Praxis;2011-10

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