Author:
Nestler Matthias,Demmler Marcel,Zeuner Michael,Kiontke Sven
Subject
Surfaces, Coatings and Films,Condensed Matter Physics
Reference5 articles.
1. Polierfehlerkorrektur mit Ionenstrahlen (IBF) für Präzisionsoptiken;Zeuner;Photonik,2010
2. IonScan 800 - Ultrapräzise Schichtdickenkorrektur für die Halbleitertechnologie;Zeuner;Vakuum in Forschung und Praxis,2007