1. Institut für Anorganische und Analytische Chemie and Freiburger Materialforschungszentrum (FMF); Universität Freiburg; Albertstr. 21 79104 Freiburg Germany
2. Laboratory for MEMS Applications; IMTEK - Department of Microsystems Engineering; University of Freiburg; Georges-Koehler-Allee 103 79110 Freiburg Germany