Pattern Generation
Author:
Publisher
John Wiley & Sons, Ltd
Reference13 articles.
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2. High resolution variable-shaped beam direct write;Hahmann;Microelectron. Eng.,2007
3. Development of an electron-beam lithography system for high accuracy masks;Kawano;J. Vac. Sci. Technol.,2003
4. Design and fabrication of CD-like microfluidic platforms for diagnostics: polymer-based micro-fabrication;Lee;Biomed. Microdevices,2001
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