Paper No 19.3: Back-Channel-Etch Process Flow for a-IGZO TFTs

Author:

Nag Manoj12,Steudel Soeren1,Chasin Adrian12,Myny Kris1,Rockele Maarten12,Bhoolokam Ajay12,Willegems Myriam1,Smout Steve1,Vicca Peter1,Ameys Marc1,Schols Sarah1,Cheyns David1,Genoe Jan1,van der Steen Jan-Laurens3,Tempelaars Karin3,Groeseneken Guido12,Heremans Paul12

Affiliation:

1. IMEC; Kapeldreef 75 3001 Leuven Belgium

2. ESAT, Katholieke Universiteit Leuven; Kasteelpark Arenberg 10 3001 Leuven Belgium

3. Holst Centre, High Tech Campus 31; 5656 AE Eindhoven The Netherlands

Publisher

Wiley

同舟云学术

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