Ion implantation of the 4H SiC epitaxial layers and substrates with 2 MeV Se+and 1 MeV Al+ions

Author:

Wierzchowski W.1,Turos A.12,Wieteska K.2,Stonert A.2,Ratajczak R.2,Jóźwik P.12,Wilhelm R.3,Akhamadaliev S.3,Mazur K.1,Paulmann C.4

Affiliation:

1. Institute of Electronic Materials Technology; ul. Wólczyńska 133 01-919 Warsaw Poland

2. National Centre for Nuclear Research; ul. Andrzeja Sołtana 7 05-400 Otwock-Świerk Poland

3. Forschungszentrum Dresden-Rossendorf; Bautzner Landstraße 400 01328 Dresden Germany

4. HASYLAB at DESY; Notkestr. 85 22603 Hamburg Germany

Funder

Rossendorf Research Centre

Publisher

Wiley

Subject

Spectroscopy

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