1. Institute of Materials Science; Technische Universität Darmstadt; Alarich-Weiss-Str. 2 Darmstadt 64287 Germany
2. IHP GmbH; Leibniz-Institut für innovative Mikroelektronik; Im Technologiepark 25 Frankfurt Oder 15236 Germany
3. Institut für Optik und Atomare Physik; Technische Universität Berlin; Straße des 17. Juni 135 Berlin 10623 Germany
4. Electronic Materials Research Laboratory; Key Laboratory of the Ministry of Education & International Center for Dielectric Research; Xi'an Jiaotong University; Xi'an 710049 China
5. Brandenburgische Technische Universität; Konrad-Zuse-Str. 1 Cottbus 03046 Germany