Author:
Büttgenbach S.,Lucas N.,Sichler P.
Reference35 articles.
1. S. Caspar Evaluierung Plasmatechnik (VDI Technologiezentrum GmbH, 2005).
2. Microplasmas and applications
3. Applications of Microplasmas and Microreactor Technology
4. M. Feldmann Technologien und Applikationen der UV-Tiefenlithographie: Mikroaktorik, Mikrosensorik und Mikrofluidik (Shaker Verlag, 2007).
5. SU-8: a low-cost negative resist for MEMS
Cited by
3 articles.
订阅此论文施引文献
订阅此论文施引文献，注册后可以免费订阅5篇论文的施引文献，订阅后可以查看论文全部施引文献