1. Research Center of Microperipheric Technologies Technische Universität Berlin Gustav-Meyer-Allee 25 D-13355 Berlin Germany
2. Solvionic SA Chemin de la Loge CS 27813 31078 Toulouse France
3. Fraunhofer-Institut für Zuverlässigkeit und Mikrointegration Gustav-Meyer-Allee 25 D-13355 Berlin Germany