1. Technische Universität Berlin Research Center of Microperipheric Technologies Gustav–Meyer‐Allee 25 Berlin D‐13355 Germany
2. Helmholtz‐Zentrum Berlin für Materialien und Energie GmbH Hahn‐Meitner‐Platz 1 Berlin D‐14109 Germany
3. Institut für Physik Humboldt Universität Berlin Newtonstrasse 15 Berlin D‐12489 Germany
4. Fraunhofer‐Institut für Zuverlässigkeit und Mikrointegration Gustav‐Meyer‐Allee 25 Berlin D‐13355 Germany