Synthesis, Characterization, and Thermal Properties of Chlorine‐Containing 1,1,2,2‐Tetraaminodisilanes and Their Potential as Chemical Vapor Deposition Precursors for Silicon Nitride Films

Author:

Du Liyong1,Chu Wenxiang1,Miao Hongyan1,Wang Dawei1,Xu Chongying12,Ding Yuqiang1

Affiliation:

1. The Key Laboratory of Food Colloids and Biotechnology, Ministry of Education, School of Chemical and Material Engineering, Jiangnan University, Wuxi 214122, Jiangsu Province, P. R. China, http://www.jiangnan.edu.cn/

2. Jiangsu Nata Opto‐Electronic Material Co. Ltd., 7F One Lakepoint, No. 9 Cuiwei Street, Suzhou Industrial Park, Jiangsu Province, China

Publisher

Wiley

Subject

Inorganic Chemistry

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