1. FG Nanotechnologie, Institut für Mikro- und Nanotechnologien MacroNano und Institut für Mikro- und Nanoelektronik; TU Ilmenau, Postfach 100565 98684 Ilmenau Germany
2. IMMS gGmbH; Ehrenbergstr. 27 98693 Ilmenau Germany
3. FG Festkörperelektronik, Institut für Mikro- und Nanotechnologien MacroNano und Institut für Mikro- und Nanoelektronik; TU Ilmenau, Postfach 100565 98684 Ilmenau Germany