PVD‐Abscheidung von CoSm‐Schichten für magnetische Maßstäbe-Reference-Cited by-同舟云学术

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PVD‐Abscheidung von CoSm‐Schichten für magnetische Maßstäbe

Published:2020-10 Issue:5 Volume:32 Page:28-32
ISSN:0947-076X
Container-title:Vakuum in Forschung und Praxis
language:en
Short-container-title:Vakuum in Forschung und Praxis

Author:

Bandorf Ralf¹,Ortner Kai,Krau Marco

Affiliation:

1. Fraunhofer Institut für Schicht‐ und Oberflächentechnik IST Bienroder Weg 54 E 38108 Braunschweig Germany

Publisher

Wiley

Subject

Surfaces, Coatings and Films,Condensed Matter Physics

Link

https://onlinelibrary.wiley.com/doi/pdf/10.1002/vipr.202000743

Reference15 articles.

1. High Rate Deposition of Magnetic Material by Gas Flow Sputtering

2. Gas flow sputtering for manufacture of high quality hard magnetic films

3. Development and fabrication of magnetic thin films

4. Nanocomposite layers of ceramic oxides and metals prepared by reactive gas-flow sputtering

5. Patterned sputter deposited SmCo-films for MEMS applications

Cited by 1 articles. 订阅此论文施引文献订阅此论文施引文献，注册后可以免费订阅5篇论文的施引文献，订阅后可以查看论文全部施引文献

1. Magnetic Position System Design Method Applied to Three-Axis Joystick Motion Tracking;Sensors;2020-12-01

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