Surface modification of tetrafluoroethylene-perfluoroalkyl vinylether copolymer (PFA) by plasmas for copper metallization

Author:

Inagaki N.,Narushima K.,Yamamoto T.

Publisher

Wiley

Subject

Materials Chemistry,Polymers and Plastics,Surfaces, Coatings and Films,General Chemistry

Reference10 articles.

1. Plasma Surface Modification and Plasma Polymerization; Technomic: Lancaster, PA, 1996; p 63.

2. Comparative studies on surface modification of poly(ethylene terephthalate) by remote and direct argon plasmas

3. Polymeric Mat;Salamone,1996

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5. Plasma graft polymerization of vinylimidazole onto Kapton film surface for improvement of adhesion between Kapton film and copper

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