Toward a Better Understanding of the Influence of the Hydrocarbon Precursor on the Mechanical Properties of a-C:H Coatings Synthesized by a Hybrid PECVD/PVD Method

Author:

Thiry Damien1,De Vreese Aurore1,Renaux Fabian2,Colaux Julien L.3,Lucas Stéphane3,Guinet Yannick4,Paccou Laurent4,Bousser Etienne5,Snyders Rony12

Affiliation:

1. Chimie des Interactions Plasma-Surface (ChIPS); CIRMAP; Université de Mons; 23 Place du Parc B-7000 Mons Belgium

2. Materia Nova Research Center; Parc Initialis; B-7000 Mons Belgium

3. Namur Research Institute for Life Sciences (NARILIS), Research Centre for the Physics of Matter and Radiation (PMR-LARN); University of Namur-FUNDP; Rue de Bruxelles 61 B-5000 Namur Belgium

4. UMET, UFR de Physique, BAT P5 UMR CNRS 8207; Université de Lille 1; 59655 Villeneuve d'Ascq France

5. Functional Coating and Surface Engineering Laboratory; Ecole Polytechnique de Montréal; Montréal QCH3C3A7 Canada

Funder

Walloon Region (DGO6)

Publisher

Wiley

Subject

Polymers and Plastics,Condensed Matter Physics

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