1. Siltronic AG Einsteinstraße 172 81677 München Germany
2. Fraunhofer Institute for Integrated Systems and Device Technology IISB Schottkystraße 10 91058 Erlangen Germany
3. Leibniz Institute for Crystal Growth Max‐Born‐Straße 2 12489 Berlin Germany
4. Chair of Electron Devices Friedrich‐Alexander‐Universität Erlangen‐Nürnberg Cauerstraße 6 91058 Erlangen Germany