Nanostructured Fe2 O3 Processing via Water-Assisted ALD and Low-Temperature CVD from a Versatile Iron Ketoiminate Precursor

Author:

Peeters Daniel1,Sadlo Alexander1,Lowjaga Katarina1,Mendoza Reyes Oliver2,Wang Lidong1,Mai Lukas1,Gebhard Maximilian1,Rogalla Detlef3,Becker Hans-Werner3,Giner Ignacio4,Grundmeier Guido4,Mitoraj Dariusz2,Grafen Markus5,Ostendorf Andreas5,Beranek Radim2,Devi Anjana1

Affiliation:

1. Inorganic Materials Chemistry; Ruhr-University Bochum; Universitätsstr. 150 44801 Bochum Germany

2. Institute of Electrochemistry; Ulm University; Albert-Einstein-Allee 47 89069 Ulm Germany

3. RUBION; Ruhr-University Bochum; Universitätsstr. 150 44801 Bochum Germany

4. Technical and Macromolecular Chemistry; University Paderborn; Warburgerstr. 100 33098 Paderborn Germany

5. Chair of Applied Laser Technologies; Ruhr-University Bochum; Universitätsstr. 150 44801 Bochum Germany

Funder

Deutsche Forschungsgemeinschaft

Publisher

Wiley

Subject

Mechanical Engineering,Mechanics of Materials

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