АНАЛИЗ МЕТОДОВ СИНТЕЗА АМОРФНЫХ ФУНКЦИОНАЛЬНЫХ СЛОЕВ НА ОСНОВЕ ZnO ДЛЯ УСТРОЙСТВ ПРОЗРАЧНОЙ ЭЛЕКТРОНИКИ-Reference-Cited by-同舟云学术

АНАЛИЗ МЕТОДОВ СИНТЕЗА АМОРФНЫХ ФУНКЦИОНАЛЬНЫХ СЛОЕВ НА ОСНОВЕ ZnO ДЛЯ УСТРОЙСТВ ПРОЗРАЧНОЙ ЭЛЕКТРОНИКИ

Published:2023-10-11 Issue:6 Volume:16 Page:362-368
ISSN:2687-0282
Container-title:Nanoindustry Russia
language:
Short-container-title:NanoRus

Author:

Абдуев А.Х.^ORCID,Асваров А.Ш.^ORCID,Ахмедов А.К.^ORCID,Мурлиев Э.К.^ORCID

Abstract

Проанализированы процессы магнетронного синтеза нанокристаллических и аморфных слоев на основе оксида цинка. Изучено влияние легирующих компонентов и уровня легирования на степень аморфизации слоев. Рассмотрено влияние водорода в составе атмосферы на структурное совершенство синтезируемых слоев. Показана зависимость структуры слоев ZnO–SnO2 от соотношения компонентов в распыляемых мишенях. Обсуждены механизмы формирования аморфных слоев на основе ZnO при магнетронных методах синтеза.

Publisher

Technosphera JSC

Subject

Industrial and Manufacturing Engineering,Environmental Engineering

Reference10 articles.

1. Transparent Electronics; From Synthesis to Applications. Ed. by A. Facchetti and T. J. Marks / John Wiley & Sons, 2010, 470 p.

2. Nomura K., Ohta H., Takagi A., Kamiya T., Hirano M., Hosono H. Room-temperature fabrication of transparent flexible thin-film transistors using amorphous oxide semiconductors, Nature, 2004. Vol. 432. PP. 488–492.

3. Yang T., Kuo D., Tang K. n-type Sn substitution in amorphous IGZO film by sol-gel method: A promoter of hall mobility up to 65 cm2/Vs, Journal of Non-Crystalline Solids, 2021. Vol. 553. P. 120503.

4. Flexible Electronics: Materials and Applications. Ed. by W.S. Wong and A. Salleo. Flexible Electronics: Materials and Applications / Springer Science & Business Media, 2009, 462 p.

5. Transparent Conductive Zinc Oxide. Basics and Applications in Thin Film Solar Cells. Ed. by K. Ellmer A. Klein B. Rech. / Springer Science & Business Media, 2007. 446 p.