Ultra-Low Out Gassing Quadrupole Mass Spectrometer-Reference-Cited by-同舟云学术

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Ultra-Low Out Gassing Quadrupole Mass Spectrometer

Published:2019-05-10 Issue:5 Volume:62 Page:256-259
ISSN:2433-5835
Container-title:Vacuum and Surface Science
language:en
Short-container-title:Vac. Surf. Sci.

Author:

KISHIKAWA Shinsuke¹,HAYASHI Yuzo²

Affiliation:

1. Tokyo Electronics Co., Ltd

2. VacLab Inc.

Publisher

Surface Science Society Japan

Link

https://www.jstage.jst.go.jp/article/vss/62/5/62_20180352/_pdf

Reference4 articles.

1. 1) F. Watanabe and A. Kasai : J. Vac. Sci. Technol., A 13, 497 (1995).

2. 2) F. Watanabe : J. Vac. Sci. Technol., A 20, 1222 (2002).

3. 3) F. Watanabe : J. Vac. Sci. Technol., A 22, 181 (2004).

4. 4) F. Watanabe : J. Vac. Sci. Technol., A 22, 739 (2004).

Cited by 1 articles. 订阅此论文施引文献订阅此论文施引文献，注册后可以免费订阅5篇论文的施引文献，订阅后可以查看论文全部施引文献

1. Surface Analysis and Vacuum Performance of BeCu Alloy Materials;Vacuum and Surface Science;2024-08-10

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