Surface Analysis and Vacuum Performance of BeCu Alloy Materials
Author:
Affiliation:
1. Tokyo Electronics Co., Ltd.
2. Japan Atomic Energy Agency
3. Total Support Systems Corporation
Publisher
Surface Science Society Japan
Link
https://www.jstage.jst.go.jp/article/vss/67/8/67_20181331/_pdf
Reference7 articles.
1. 1) 真空実験室 極高真空・測定子(3B-gauge).
2. 2) 岸川信介, 林 雄造 : Vac. Surf. Sci. 62, 256 (2019).
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4. 4) 日本ガイシ株式会社 ベリリウム銅合金 C71111.
5. 5) 渡辺文夫 : J. Vac. Soc. Jpn. 49, 349 (2006).
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