1. 1) T. Suntola : Mater. Sci. Rep. 4, 261 (1989).
2. 2) H.B. Profijt, S.E. Potts, M.C.M. van de Sanden and W.M.M. Kessels : J. Vac. Sci. Technol., A 29, 050801 (2011).
3. 3) S. Babin, G. Glushenko, T. Weber, T. Kaesebier, E.-B. Kley and A. Szeghalmi : J. Vac. Sci. Technol., B 30, 031605 (2012).
4. 4) Y. Horiike, T. Tanaka, M. Nakano, S. Iseda, H. Sakaue, A. Nagata, H. Shindo, S. Miyazaki and M. Hirose : J. Vac. Sci. Technol., A 8, 1844 (1990).
5. 5) K.J. Kanarik, T. Lill, E.A. Hudson, S. Sriraman, S. Tan, J. Marks, V. Vahedi and R.A. Gottscho : J. Vac. Sci. Technol., A 33, 020802 (2015).