Evaluation of Semiconductor Materials Using High-resolution Spectra Extracted from Datacube Measured by <i>Spectrum Image</i> Method of Auger Electron Spectroscopy
Author:
Affiliation:
1. SA business unit, JEOL Ltd.
2. Material Science Research Group, Research Institute of Electrochemical Energy, Department of Energy and Environment, AIST
Publisher
Surface Science Society Japan
Link
https://www.jstage.jst.go.jp/article/vss/67/8/67_20181330/_pdf
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