Amorphous Mo-N and Mo-Si-N films in microelectromechanical systems

Author:

KATTELUS H.,YLONEN M.,BLOMBERG M.

Publisher

Wiley

Subject

Mechanical Engineering,Mechanics of Materials,General Materials Science

Reference24 articles.

1. 1 L. Ouellet (2003 ) Low-temperature MEMS processing for intelligent MEMS over CMOS . In:CMC Technical Session, Symposium on Microelectronics Research & Development in Canada (MR&DCAN 2003). Available athttp://www.dalsasemi.com.

2. A MEMS-based projection display

3. Structural difference rule for amorphous alloy formation by ion mixing

4. Characterization of W-N Alloys Formed By Sputter Deposition

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