Section of Biophysics: MASS TRANSPORT THROUGH SILICA AND PHOSPHOSILICATE GLASS FILMS*

Author:

Eldridge J. M.,Balk P.

Publisher

Wiley

Reference14 articles.

1. General relationship for the thermal oxidation of silicon;Deal;J. Appl. Phys.,1965

2. Formation of phosphosilicate glass films on silicon;Eldridge;Trans. A.I.M.E.,1968

3. Ionic transport in amorphous oxides;Doremus;J. Electrochem. Soc.,1968

4. Sodium redistribution in thermal oxide on silicon by radiochemical and MOS analysis;Yon;I.E.E.E. Trans. Electron Devices,1966

5. Phosphosilicate glass stabilization of FET devices;Balk;Proc. I.E.E.E.,1969

Cited by 2 articles. 订阅此论文施引文献 订阅此论文施引文献,注册后可以免费订阅5篇论文的施引文献,订阅后可以查看论文全部施引文献

1. The influence of oxygen annealing on ion drift in SiO2;Physica Status Solidi (a);1973-07-16

2. Cation transport in SiO2;Physica Status Solidi (a);1972-07-16

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