Mechanical Properties of Sputter-Deposited Titanium-Silicon-Carbon Films

Author:

Krzanowski James E.,Koutzaki Sirma H.

Publisher

Wiley

Subject

Materials Chemistry,Ceramics and Composites

Reference17 articles.

1. 2 L. E. Toth , Transition Metal Carbides and Nitrides; pp. 6-7and 143-46. Nova Science, New York, 1971.

2. Ti-Si-N Films Prepared by Plasma-Enhanced Chemical Vapor Deposition;Li;Plasma Chem. Plasma Process.,1992

3. Physical, Structural, and Mechanical Characterization of Ti1-xSixNy Films;Vaz;Surf. Coat. Technol.,1998

4. Improving the Properties of Titanium Nitride by Incorporation of Silicon;Diserens;Surf. Coat. Technol.,1998

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