Improvement of silicon solar cell efficiency by ion beam sputtered deposition of AlO_xN_y thin films
Author:
Publisher
The Optical Society
Reference7 articles.
1. Ultralow surface recombination of c-Si substrates passivated by plasma-assisted atomic layer deposited Al2O3
2. Surface passivation schemes for high-efficiency n-type Si solar cells
3. Very low surface recombination velocity on p-type c-Si by high-rate plasma-deposited aluminum oxide
4. Effect of annealing on DC sputtered aluminum nitride films
5. Optical and electrical properties of negatively charged aluminium oxynitride films
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