Where is silicon based MEMS heading to?

Author:

Paulasto-Kröckel Mervi,Tilli Markku,Ross Glenn,Kuisma Heikki

Publisher

Elsevier

Reference39 articles.

1. Prime Faraday Partnership: An Introduction to MEMS. .

2. Piezoresistance effect in germanium and silicon;Smith;Phys. Rev.,1953

3. A.D. Kurtz, J. Mallon, C. Gravel, Kulite Semiconductor Products, Electromechanical Transducers and Housings, US Patent 3654579.

4. A resonant-gate silicon surface transistor with high-Q band-pass properties;Nathanson;Appl. Phys. Lett.,1965

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