Silicon Carbide BioMEMS
Author:
Publisher
Elsevier
Reference55 articles.
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4. SiC MEMS: opportunities and challenges for applications in harsh environments;Mehregany;Thin Solid Films,1999
5. Deposition of polycrystalline 3C-SiC films on 100 mm diameter (100) Si wafers in a large-volume LPCVD furnace;Zorman;Electrochem Solid-State Lett,2002
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